日本 ULVAC 爱发科 真空泵LR系列 LR60/ LR90/LR180 低温范围内均匀加热
2024-07-19 11:57:25
admin
多级罗茨型干真空泵
LR系列
通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵非常适合 PVD 工艺以及装载和卸载室的排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。
特征
低温范围内均匀加热（LR系列）
除了PVD工艺外，它特别适用于排气装卸室，缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。
配备氦气
密闭电机，密封结构，安全性极高。
瞬时停电对策
我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。
优异的耐腐蚀性
主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。
通讯功能
可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。
目的
薄膜沉积设备（溅射设备/蒸发设备等）
缩短装卸间排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）
规格
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 极限压力 | 5.0帕 | ||||||
| 最大入口压力（吸入压力） | 气压 | ||||||
| 最大排气口压力（排出压力） | 1Pa～大气压 | ||||||
| 进气口（CE规格） | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | ||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | |||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 电力*1 | 三相 | 交流电压（赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | |||
| 当前值 | 稳定状态 | A | 6.9（200V 时） | 11.2（200V 时） | 18.9（200V 时） | 20.8（200V 时） | |
| 最大值 | A | 7.3（200V 时） | 11.8（200V 时） | 20.6（200V 时） | 48.5（200V 时） | ||
| 冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 可持续发展管理 | 五 | ||||
| 加斯巴拉 | 可持续发展管理 | 0~45 | 没有 | 0~45 | |||
*1 请在订购时注明。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | ||
| 使用泵 | 数据恢复计划 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | 1,701 (28,350) | 3,200 (53,333) | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051M (17,500) | 1,784 (29,700) | 3,200 (53,333) | ||||
| 极限压力 | 0.67帕 | |||||||||
| 最大入口压力（吸入压力） | 气压 | |||||||||
| 最大排气口压力（排出压力） | 1Pa～大气压 | |||||||||
| 进气口（CE规格） | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | ||||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面处理 | ○ *2 | ○ *2 | ○ *2 | ○ *2 | × | 时间：× 时间：× | × | TR:× TTR:〇 | ||
| 大量的 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电力*3 | 三相 | 交流电压（赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
| 当前值 | 稳定状态 | A | 7.0 （200V 时） | 12.3 （200V 时） | 13.7 （200V 时） | 21.4 （200V 时） | 31.0（200V 时） 20.5（400V 时） | 35.4（200V 时） 20.5（400V 时） | ||
| 最大值 | A | 9.6 （200V 时） | 19.0 （200V 时） | 24.2 （200V 时） | 39.8 （200V 时） | 58.4（200V 时） 40.5（400V 时） | 82.0（200V 时） 40.5（400V 时） | |||
| 冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 可持续发展管理 | 五 | |||||||
| 加斯巴拉 | 可持续发展管理 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | ||||
*2 LR300、LR600、LR1200、LR1800 MBP 可选择有或无表面处理。
*3 请在订购时注明。
*4 我们还可以根据应用引用允许使用气体玫瑰花的规格。
配饰
■消音器
| 模型 | 材料 | 表面 处理 | 大量的 | 连接法兰 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421 -T |
| RS-01 + 套件 A | 不锈钢 304 | GBB 处理 | 4.1公斤 | KF40 | ○ | - | - | - | - | ○ | ○ | - | - | - |
| RS-01 + 套件 B | KF40 | - | ○ | ○ | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + 套件 A | 8.3公斤 | KF40 | ○ | - | - | - | - | - | - | ○ | - | - | ||
| RS-02 + 套件 B | KF40 | - | ○ | ○ | ○ | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + 套件 A | 抛光板 | 12.5 公斤 | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | ○ | ○ | |
| RS-03 + 套件 B | - | - | - | - | ○ | - | - | - | - | - |
LR系列型号：
LR60
LR90
LR180
LR421
LR421-T
