日本进口 ULVAC 爱发科 真空泵VS系列 VS300A-W 无需支架即可安装 MBP

2024-07-19 09:44:44 admin


油旋转真空泵 VS系列

VS300A-W

VS300A-W是旋片式(单级)油回转真空泵。凭借同类产品中最小的占地面积,现在可以直接安装机械增压泵。它还内置油雾分离器和回油机构,可长期提供稳定的排气性能。该设计还考虑了油和元件更换等维护的便利性。


特征

设计紧凑,同类产品中占地面积最小□874 x 404 mm。
机械增压泵 (MBP) 可以
使用 MBP 安装套件直接安装,无需支架即可安装 MBP。
它还具有内置油回收机构,内置油雾分离器。
防止油泄漏到外部的结构。
两级结构包括油封和屏蔽轴承,以防止油泄漏到外部。
配备原装IE3高效多电压电机,
单电机可应对宽电压范围。


目的

光学薄膜沉积设备
反射器沉积设备
装饰气相沉积设备
薄膜卷绕气相沉积设备
在线溅射设备
烘烤炉/热处理炉
冷冻干燥设备
泄漏测试设备

空间室


规格

模型VS300A-W
设计抽速50赫兹立方米/小时(/分钟)250 (4,166)
60赫兹300 (5,000)
极限压力*1全科医生关闭≤15
全科医生开幕≤200
功耗(极限压力)50赫兹千瓦2.8
60赫兹3.1
发动机模型全封闭外风扇式三相异步电动机
容量千瓦(极)7.5(4)
电压50赫兹V200~240 / 380~415
60赫兹200~240 / 380~460
噪音值*2(极限压力时)50赫兹D b70
60赫兹74
使用油ULVOIL R-72
所需油量L10~15
冷却方式水冷
冷却水一次压力兆帕G≤0.3
入口/出口压差≧0.1
冷却水量升/分钟≧3.0
冷却水温度5~30
冷却水量Δt≤25
进气法兰DN 63 ISO-F
排气法兰G2
大量的公斤270
外形尺寸 宽×深×高毫米404×871×585
海外安全标准CE、cTUVus

注:本文件使用 SI 单位制。

*1 在极限压力下发生缓慢泄漏(GP 关闭)。当缓漏阀关闭时,压力变为≤8Pa。
*2 根据ISO2151测量和计算的平均声压级。

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