日本 ULVAC 爱发科 油扩散泵BW系列 BW-02/BW-04B/BW-06B/BW-10 抑制油蒸气从油扩散泵向吸气侧的逆流

2024-07-22 15:21:45 admin


油扩散泵

BW系列

BW-02

BW-04B

BW-06B

BW-10

BW-14

BW-20

BW-22

BW-36

BW-52


抑制油蒸气从油扩散泵向吸气侧的逆流。


特性

保护真空容器内不受油扩散泵的蒸汽污染。

设计尽量减少排气阻力。

BW-04B和BW-06B通过安装适配器可以进一步抑制油蒸气的逆流量。

规格

型号BW-02BW-04BBW-06BBW-10BW-14BW-20BW-22BW-36BW-52
电导 [升/秒]10094022003130500013000140005400075000
外径尺寸 [mm]Dφ120φ149φ199φ350φ450φ625φ680φ1065φ1480
T1628284450152101113165
t162525222224262835
冷却水接口(尺寸)Rc 1/8Rc 1/4Rc 1/4Rc 1/4Rc 3/8Rc 3/8Rc 3/8Rc 3/8Rc 1/2
冷却水量
[L/min]
1.50.71223355
重量[公斤]11.31.77.611222866200




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