日本 ULVAC 爱发科 油扩散泵BW系列 BW-02/BW-04B/BW-06B/BW-10 抑制油蒸气从油扩散泵向吸气侧的逆流
2024-07-22 15:21:45
admin
油扩散泵
BW系列
BW-02
BW-04B
BW-06B
BW-10
BW-14
BW-20
BW-22
BW-36
BW-52
抑制油蒸气从油扩散泵向吸气侧的逆流。
特性
保护真空容器内不受油扩散泵的蒸汽污染。
设计尽量减少排气阻力。
BW-04B和BW-06B通过安装适配器可以进一步抑制油蒸气的逆流量。
规格
型号 | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | ||
电导 [升/秒] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | 14000 | 54000 | 75000 | ||
外径尺寸 [mm] | D | φ120 | φ149 | φ199 | φ350 | φ450 | φ625 | φ680 | φ1065 | φ1480 | |
T | 16 | 28 | 28 | 44 | 50 | 152 | 101 | 113 | 165 | ||
t | 16 | 25 | 25 | 22 | 22 | 24 | 26 | 28 | 35 | ||
冷却水接口(尺寸) | Rc 1/8 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | ||
冷却水量 [L/min] | 1.5 | 0.7 | 1 | 2 | 2 | 3 | 3 | 5 | 5 | ||
重量[公斤] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | 28 | 66 | 200 |