日本 ULVAC 爱发科 低温泵CRYO-U系列 CRYO-U4H/CRYO-U6H/CRYO-U8H 4 型低温泵提供最佳的排气特性
2024-07-22 15:39:28
admin
低温泵
CRYO-U系列
CRYO-U4H
CRYO-U6H
CRYO-U8H
CRYO-U8H-U
CRYO-U8HL
CRYO-U8HSP
CRYO-U10H
CRYO-U10HSP
CRYO-U12H
CRYO-U12HL
CRYO-U12HSP
CRYO-U16
CRYO-U16P
CRYO-U20P
CRYO-U20H
CRYO-U22P
CRYO-U22WB
CRYO-U22H
CRYO-U30H
ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。
CRYO-U4H
特征
4 型低温泵提供最佳的排气特性。
高抽速有助于提高抽气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备中的溅射工艺。
一台压缩机最多可运行 4 台泵。
我们可以根据您的应用设计和制造产品。
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | 帕 | 10 -7 | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s | 1.3× 103 |
| 排气量 | 氩 | Pa・L | 1.0×10 7 |
| 氢 | 1.5× 105 | ||
| 冷却时间 | 分钟(50/60Hz) | 45/50 | |
| 质量 | 公斤 | 14.5 | |
