楷捷 KAIJO 高频超声波清洗机HIMEGASONIC
我司，专业日本工业品源头供应商。..KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介: Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盘清洗,石英 振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆性材料等的超精密超声波清洗. Haimega除去小于45纳米时所需的超微粒、如半导体和液晶显示器. 特点■振荡器 ●内置 自诊断功能(CPU)可以反馈集中控制(RS485,D-NET),输出的运行状
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.KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介:
Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盘清洗,石英
振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆性材料等的超精密超声波清洗.
Haimega除去小于45纳米时所需的超微粒、如半导体和液晶显示器.
特点■振荡器
●内置
自诊断功能(CPU)可以反馈集中控制(RS485,D-NET),输出的运行状态,
可以与上位机进行通信交流内脏CPU.
●数字显示输出 的3位数字显示,运行状态管理的管理,可以进行高精度始终是可能的.
●较低的判断功能,
可以执行上的上限和下限的报警显示,状态显示振荡也有可能是触点输出.
●自动跟踪方法PLL频率
深种溶液,液体：KAIJO自己PLL的方案,其振荡频率为自动优化
等(高达70度),有可能 发生变化的液体的温度.
● 功率MOS FET的高效率振荡,振荡的高效率是可能的.
●损伤小,
可控制的精细图案的最佳状态,我们应对200/300mm晶圆清洗.
发振器配置
项目
规格
型号名称
68101
78101
78102
输出功率
600W
900W
900W
工作频率
950KHZ
950KHZ
750KHZ
发振方式
VCO
频率调整
自動追尾PLL方式
工作显示
3位七段LED显示
远程控制机构
有
使用环境温度
0～40℃
使用环境湿度
0～80%
工作电源
AC200V 6A
AC200V 9.5A
AC200V 9.5A
外形尺寸
3200×5200×144
460×500×143
460×500×143
重量
約17㎏
約25㎏
振动板配置
使用规格
6寸晶圆
8寸晶圆
12寸晶圆
振动板规格
7857S
8857S
98SL
额定输入
300Wx4
300Wx6
300Wx16
频率
950kHz
950kHz
750kHz
振动辐射面(mm)
136x163
165x215
275x319
振动板材质
SU316L
使用最高温度
70℃
外形尺寸
185x215x55
255x305x55
410x340x65
固定方式
螺丝固定
特点■隔膜
●振动元件是大P. Z.由于振动元件T,有没有不均匀清洗.
●非常高的功率密度,清洁能力非常出色.(5.4W /约2厘米)的
厚度,因为它是厚
●具有优良的机械强度,寿命长,省心,还内置了洗涤槽.
●高效率声几乎没有损失.
●少的接缝的装置,最好的清洗效果可以预期.
●SU304,316,316 L为三种类型的材料是准备就绪
特点■洗涤槽
●商品化的超声波浴石英振子直接键合到石英容器.
相比传统的双室超声波照射(1.2倍以上相比,我们的)强.这是的唯一技术Kaijo.
●支持两种类型的室温(50℃最高),高温(80℃最高)是可以使用的液体温度.
●我们还生产不锈钢水槽.