日本一手价格 TOFCO 东富科 USF500S 超声波流量计 USF500N 耐性的PFA树脂
超声波流量计
特点
用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。
USF500N/600N/560N系列
G08、G10、G15、G20、G25
GZ08、GZ10、GZ15、GZ20、GZ25、GC08、GC10
特点
搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性。
采用2频道实现节省空间。
用拆装式电缆布线作业容易。
可支持高温流体。（Max.200℃，高温规格）
多路通信。（最多可连接31台）
USF500N-G08
USF500N-G10
USF600N-GC08
USF600N-GC10
USF500N-G15
USF500N-G20
USF500N-G25HK
USF600S系列
USF600S-GC08A
USF600SL-GC08A
USF600S-GC10A
USF600SL-GC10A
特点
搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性
用拆装式电缆容易进行布线作业
检测器小型化
多通信（最多可连接31台）
USF500S系列
USF500SL-G08、USF500SL-G10、USF500SL-G15、
USF500SL-G20、USF500SL-G25、USF500SL-GZ08、
USF500SL-GZ10、USF500SL-GZ15、USF500SL-GZ20、USF500SL-GZ25
特点
搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性
用拆装式电缆容易进行布线作业
可支持高温流体（Max.200℃，高温规格）
多通信（最多可连接31台）
USF500S系列
规格
流体：纯水，浆液，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）
测量流量精度（出厂校准时）：
±1%of R.D.※测量流量范围的10%以下：±0.1%of F.S。
“纯水20℃（室温25℃），流量稳定状态下校准的瞬时流量精度”。
通信功能
可连接RS-485（Modbus-RTU）最多转换器31台
通信速度：960019200384057600bps
电源电压：DC24V±10%
消耗电流：通常时：100mA以下（冲击电流：约8A/0.5ms以下）
