日本 SIGMAKOKI 压电驱动电机( VPDM-ACT ) VPDM-6.5ACT /VPDM-13ACT /VPDM-6.5ACTR /VPDM-13ACTR 前端形状R型

2024-07-26 09:18:25 admin


支持真空的压电驱动电机( VPDM-ACT )

可在高真空试验箱的装置内进行远程操作的高分辨率小型执行元件。 与千分尺有安装互换性。

备有φ9.5mm的标准型和φ6mm的小型两种安装柄直径。
备有执行元件前端为平面型( VPDM-**ACT )和r型( VPDM-**ACTR )。
为了驱动,压电驱动器专用控制器( PDM-ID-02 )请使用。
执行元件引出导线,与密封室的端子相连,或者将导线引出到外面使用。 支持真空的压电驱动执行元件附带用于与该导线连接的控制器专用连接电缆( 1m )。
压电驱动电机( VPSM-ACT )也准备了。

VPDM-ACT规格

产品编号

前端形状

移动量

最小移动量

推力

最大移动速度

质量

VPDM-6.5ACT

扁平型

6.5mm以上(最大13mm )

30nm以下

13N

1.5mm/min

0.02kg公斤

VPDM-13ACT

扁平型

13mm以上(最大18mm )

20nm以下

29.4N

1.5mm/min

0.05kg公斤

VPDM-6.5ACTR

r

6.5mm以上(最大13mm )

30nm以下

13N

1.5mm/min

0.02kg公斤

VPDM-13ACTR

r

13mm以上(最大18mm )

20nm以下

29.4N

1.5mm/min

0.05kg公斤



支持真空的压电驱动电机/ VPDM-6.5ACTR

可在高真空试验箱的装置内进行远程操作的高分辨率小型执行元件。 与千分尺有安装互换性。


详细

备有φ9.5mm的标准型和φ6mm的小型两种安装柄直径。

备有执行器前端为平面的类型( VPDM-**ACT )和球体的类型( VPDM-**ACTR )。


其他信息

目录代码W8023

RoHS Yes

CE Yes

CAD数据 DXF、STP、IGES、SAT

向导

▶动作时,请使用压电驱动器专用控制器(PDM-ID-02)。

▶从执行器引出导线,连接到腔室的端子或将导线引出到外部使用。压电驱动器驱动器附带用于与该导线连接的控制器专用连接电缆(1m)。

注意事项

▶为了提高执行器主体的追随性,请设定适当的负荷(3N以上推荐)。

▶由于本产品通过使用压电元件的惯性驱动,所以定位等没有精度。另外,根据个体差异、致动器的进给方向,速度、最小移动量会产生偏差。请事先谅解。


规格

前端形状R型

移动量6.5mm以上(最大13mm)

最小移动量30nm以下

推力13N

最大移动速度1.5mm/min

重量0.02kg


首页
产品
新闻
联系