日本 ULVAC 爱发科 油扩散泵ULK系列 ULK-04A/ULK-06A/ULK-10A/ULK-14A 耐用的高真空泵，无机械滑动部件
2024-07-22 14:54:17
admin
油扩散泵
ULK系列
ULK
ULK-04A
ULK-06A
ULK-10A
ULK-14A
ULVAC的ULK型油扩散泵是一种高真空泵，结构紧凑，设计有大临界背压。
它被广泛应用于从研究应用到生产线。特征
耐用的高真空泵，无机械滑动部件。
通过选择两种类型的油和加热器，您可以获得所需的抽速和极限压力。
配备防止液压油流向辅助泵侧的机构。
目的
・蒸镀设备
・高真空实验设备
规格
| 型号 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||||
| 抽速 | 550升/秒 | 500升/秒 | 1200升/秒 | 1100升/秒 | 3400升/秒 | 3000升/秒 | 5400升/秒 | 4900 升/秒 | |||
| 极限压力*1 | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | |||
| 临界背压 | 40帕 | 60帕 | 40帕 | 60帕 | 35帕 | 40帕 | 30帕 | 30帕 | |||
| 工作开始时间 | 9分钟 | 8.5分钟 | 16.5分钟 | 15分钟 | 20分钟 | 20分钟 | 25分钟 | 25分钟 | |||
| 液压油*2 | ULVOI D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | |||
| 油量 | 0.15升 | 0.35升 | 0.8升 | 1.5升 | |||||||
| 水温 | 19℃~25℃ | ||||||||||
| 冷却水组合 （尺寸x系统数量） | RC 1/4" | RC 1/4" | RC 3/8" | RC 3/8" | |||||||
| 冷却水量 | 1升/分钟 | 1升/分钟 | 1.5升/分钟 | 2.5升/分钟 | 3升/分钟 | 2.5升/分钟 | 3.5升/分钟 | ||||
| 电压规格 | 200V/1Φ | ||||||||||
| 所需电源 | 0.55kW | 0.73千瓦 | 0.9kW | 1.2千瓦 | 2.4千瓦 | 2千瓦 | 2.25千瓦 | 2.4千瓦 | |||
| 加热器类型 | 热板 | 热板 | 热板 | 热板 | |||||||
| 推荐辅助泵*3 | VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 | VD30C / VD40C / VD60C | VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030 | VS1501 / VS2401 / PKS-030 | |||||||
| 外径*4 | A | 175毫米 | 250毫米 | 340毫米 | 340毫米 | ||||||
| 乙 | 150毫米 | 180毫米 | 240毫米 | 240毫米 | |||||||
| H | 344毫米 | 449毫米 | 650毫米 | 670毫米 | |||||||
| 进气口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||||
| 排气口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||||
| 质量 | 7.5公斤 | 13.5公斤 | 47公斤 | 56公斤 | |||||||
| 油位计 | 没有 | 没有 | 视口 | 视口 | |||||||
| 恒温器 选项 | 有 | 有 | 有 | 有 | |||||||
| 恒温器 设定温度 | 250℃ | 250℃ | 180℃ | 180℃ | |||||||
*1 极限压力是冷却水量为20℃时用电离真空计测得的。
*2 D-11是烃类通用油，D-31是硅类扩散泵油，具有高耐热性和稳定性。
*3 辅助泵的选择以扩散泵的最大流量为基准，但一般情况下，考虑粗加工时间，选择比此处所示的机械增压泵和油回转真空泵。适当使用泵。
*4 对于其他尺寸，请检查我们网站上发布的CAD 数据（2D 图纸、3D 图纸）。
