日本走空运 ULVAC 爱发科 涡轮分子泵UTM-B系列 UTM70B/UTM300B 自由安装方向
2024-07-22 14:34:52
admin
涡轮分子泵
UTM-B系列
UTM-B
UTM70B
UTM300B
使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。
通过集成控制器和泵实现空间节省。
优异的高背压特性还使得辅助泵的小型化成为可能。
特征
自由安装方向
由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。
配备车载控制器
控制器安装在涡轮本体上，可有效减少布线并缩小排气系统的尺寸。
高压缩比和高排气
压力高压缩比允许在高背压下运行，从而允许使用更小的辅助泵。
三种类型的法兰可供选择
三种类型的进气法兰可供选择：VG、ICF 和 ISO-K。
该设计旨在最大限度地减少碳氢化合物的回流，不仅在清洁真空操作期间，而且在泵停止时也是如此。
目的
分析设备、研发设备、实验设备等主要排气系统
蒸发设备、溅射设备等主排气系统
H2 和 He 等轻气体的主排气系统
规格
| 型号 | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵 | 冷却方式 | 自然风冷 | 强制风冷 | 自然风冷 | 强制风冷 | ||
| 法兰直径 | 进气口*1 | VG65、ICF114、ISO063-K | VG100、ICF152、ISO100-K | ||||
| 排气口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排气速度 （无防护网） | N2 | 70升/秒 | 280升/秒 | ||||
| He | 60升/秒 | 270升/秒 | |||||
| H2 | 49 升/秒 | 220升/秒 | |||||
| 极限压力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8帕 | - *3 | 10-8帕 | ||
| 烘烤前 | 10 -6帕 | 10 -6帕 | 10 -6帕 | ||||
| 最大压缩比 | N2 : >1×10 9 , He : 4×10 7 , H2 : 4×10 5 | N2 : >1×10 9 , He : 7×10 6 , H2 : 1×10 5 | |||||
| 最大入口压力 *4、*5、*6 | N2 | 0.43帕 | 1.1帕 | 0.06帕 | 0.7帕 | ||
| 最大排气口压力 *4、*5、*7 | N2 | 300帕 | 900帕 | 100帕 | 1000帕 | ||
| 连续运行最大流量 *8 | 无气体吹扫 | N2 | 15sccm*9 | 40sccm*9 | 10sccm*10 | 100sccm*10 | |
无气体吹扫 | Ar | - | 10sccm*9 | - | 30sccm*10 | ||
带气体吹扫 | - | 15sccm*9 | - | 40sccm*10 | |||
| 推荐辅助泵 （吸力 10SCCM 时）*11 | 60L/分钟以上 | 120L/min以上 | |||||
| 质量 | VG：3.3公斤，ISF：3.0公斤，ISO：5.0公斤 | 6.0公斤/9.0公斤 | 6.3公斤 / 9.3公斤 | ||||
| 转数 | 87000转/分 | 60000转/分 | |||||
| 启动时间（可达80%） （DC24V，背压5Pa以下） | 1.7分钟 | 3.5分钟 | |||||
| 表面处理*12 | 无 | ||||||
| 安装方向 | 每个方向 | ||||||
| 噪音*13 | 48dB(A)以下 | 50dB(A)以下 | |||||
| 电源规格 | 输入功率 | DC24V±5%，120W | DC24V±5%，180W | ||||
| 接点输入/输出 | REMOTE（D-sub 15针公头）4个数字输入/输出点，1个模拟输出点 | ||||||
| 串行通讯 | RS-485（D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共用） | ||||||
| LED显示屏 | 电源、正常、报警 | ||||||
| 转变 | 启动/停止、重置 | ||||||
| 可变转速 | 转速可在泵预设转数的 25% 至 100% 之间更改（设置以 0.1% 为增量） | ||||||
| 异常检测 | 检测警报和警告 | ||||||
| 保护操作 | 显示警报和警告 | ||||||
| 标准配件 | 使用说明书（CD-R）、保护网（仅限 VG、ICF。垫圈内置 ISO 法兰）、 垫圈（进气口用）、防尘盖（进气口、排气口、连接器用）各 1 个 | ||||||
| 适用标准 | CE、TUV | ||||||
| *1 | 订购时请选择进气法兰。 |
| *2 | 使用两级辅助泵时 |
| *3 | 仅当使用 ICF 法兰强制风冷时才能进行烘烤。 |
| *四 | 这是环境温度为25℃时的值。公差随着环境温度的变化而变化。 |
| *五 | 最大进气口压力和最大排气口压力不能同时满足。 |
| *6 | 这是可以连续排气的最大入口压力。 |
| *7 | 这是当来自进气口的废气流量为0sccm时排气口处可以连续运行的最大压力。 |
| *8 | 这是环境温度为 5 至 25°C 时的值。请使用N2气体25sccm进行气体吹扫。 |
| *9 | 这是使用辅助泵60L/min时的值。 |
| *十 | 这是使用辅助泵120L/min时的值。 |
| *11 | 如果气体量较大，请选择辅助泵，使排气口压力保持在最大排气口压力以下。 |
| *12 | 请勿流动活性气体、腐蚀性气体或含 Ga 气体。请联系我们获取其他信息。 |
| *13 | ISO 法兰类型。基于我们的测量方法。 |
