日本 ULVAC 爱发科 涡轮分子泵UTM-MS系列 UTM300A-MS/UTM400A-MS/UTM800A-MS/UTM1000A-MS 泵体和控制器是分开的
2024-07-22 11:31:11
admin
涡轮分子泵
UTM-MS系列
UTM-MS
UTM300A-MS
UTM400A-MS
UTM800A-MS
UTM1000A-MS
UTM1300A-MS
UTM1500A-MS
UTM2400A-MS
UTM3400A-MS
UTM4300A-MS
新产品
这是带有使用磁力轴承的独立控制器的涡轮分子泵。我们拥有一系列抽速为 300 至 4000L/s 的型号。控制器部分可以监控运行状态并兼容各种通信标准。
特征
泵体和控制器是分开的，
控制器可以监控运行状态，并兼容各种通信标准。
自由安装方向
由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。
产品阵容包括抽速 300L/s 至 4000L/s
泵转速可在25%至100%范围内变化，腔室压力可调节。
高耐用性和安全性
通过了各种安全确认测试，包括大气进入测试和着陆测试。
目的
各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 气相沉积设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研发设备
不产生副反应产物的轻工艺主排气系统
其他一般高真空排气应用
表格1
| 型号 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100/ICF152 | VG150/ICF203 | VG200/ICF253 | |||||||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | ||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 排气速度*2 | N2 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| Ar | 升/秒 | - | ||||||||
| He | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩率 | N2 | 1×10 9 | ||||||||
| He | 8×10 4 | |||||||||
| H2 | 1×10 4 | 4× 103 | ||||||||
| 最大入口压力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排气口压力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 转数 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 可全方位安装 | |||||||||
| 表面处理 | 镀镍 | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - |
| 水压力 | 兆帕G | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | |
| 噪音 | 分贝(A) | 60 | ||||||||
| 质量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐辅助泵 | 200L/分钟以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| 控制器 | 配置 | 单独放置 | ||||||||
| 输入功率 | 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 所需最大功率 | kVA | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化（以 0.1% 增量设置） | |||||||||
| 外部控制 | 接点输入/输出 | |||||||||
| RS-232C/RS-485 | ||||||||||
| 质量 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示顺序。
*2：不含保护网的值。
*3：最大进气口压力和最大排气口压力条件不能同时满足。
表2
| 型号 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 进气口 | VG200/ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排气口 | KF40 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 排气速度*2 | N2 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| Ar | 升/秒 | - | 2000年 | 3100 | 4200 | ||
| He | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | - | |
| H2 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩率 | N2 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| He | 1×10 4 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3×10 4 | |||
| H2 | 1×10 3 | 3×10 3 | 6× 103 | 2×10 3 | |||
| 最大入口压力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 最大排气口压力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 转数 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟内 | 11分钟内 | 12分钟内 | 18分钟内 | |||
| 安装方向 | 可全方位安装 | ||||||
| 表面处理 | 镀镍 | ||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1～3 | 2～4 | |||
| 水压力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分贝(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 质量 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐辅助泵 | 600L/min以上 | 1300L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
| 控制器 | 配置 | 单独放置 | |||||
| 输入功率 | 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 所需最大功率 | kVA | 1.0 | 1.5 | ||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化（以 0.1% 增量设置） | ||||||
| 外部控制 | 接点输入/输出 | ||||||
| RS-232C/RS-485 | |||||||
| 质量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示顺序。
*2：不含保护网的值。
*3：最大进气口压力和最大排气口压力条件不能同时满足。
